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世界の静電チャック市場は、少数の大手企業に集中しており、残りは国内市場のみに対応する地元企業です。シンコー、日本ガイシ株式会社(FMインダストリーズ株式会社)、NTKセラテック株式会社、II-VIエムキューブド、筑波山株式会社、京セラ株式会社、プロテックキャリアシステムズGmbH、東陶株式会社、セムコテクノロジー(SEMCO GROUP TM)、クアーステク株式会社、フラウンホーファー研究機構など。
シンコ:
1946年に設立され、日本に本社を置く新光電気工業株式会社の主な事業は、プラスチックラミネートパッケージ(PLP)、テープBGA、リードフレーム、ガラス対金属シール、静電チャック、サージアレスタ、ICアセンブリ、マルチチップパッケージ(MCP)、システムモジュールの製造と販売です。同社は、港北工場(本社)、若穂工場、高岡工場、新井工場、京ヶ瀬工場、新光R&Dセンター、栗田総合センター、会津支店など、世界中にさまざまな工場とオフィスを持ち、営業所は東京、大阪、仙台、長野、名古屋、大分、福岡にあります。
最近の開発:
新光電気は、半導体製造装置用セラミック静電チャックの今後の旺盛な需要が見込まれることから、新井工場に新工場を建設し、生産能力を増強する。
日本ガイシ株式会社(FMインダストリーズ株式会社):
1919年に設立され、名古屋に本社を置く日本ガイシ株式会社の主な事業は、絶縁体を含む電力関連機器、排ガス浄化用セラミック触媒担体、工業製品、ベリリウム銅製品の製造と販売です。静電チャックはセラミック製品です。同社は、米国、メキシコ、フランス、ベルギー、ポーランド、タイ、オーストラリア、インドネシア、中国、南アフリカなど、さまざまな地域でグローバルに事業を展開しています。
最近の開発:
日本ガイシは、岐阜県多治見市に半導体製造装置用セラミックスの生産拠点を新設すると発表した。新工場には約200億円を投資し、2020年4月から量産を開始する予定。新工場での生産は、製造子会社のNGKセラミックデバイスが担当する予定。
NTKセラテック株式会社:
1987年に設立され、仙台に本社を置くNTKセラテック株式会社は、エンジニアリングセラミックスおよび各種製品の開発、製造、販売を行っています。半導体・液晶製造装置、粉体・研削加工装置、ポンプ・液体加工装置用のボール、バルブなどのセラミックス、半導体製造装置用の真空チャック、静電チャック、ポーラスチャック、LED、LDライト用の蛍光板などを取り扱っています。2015年4月2日現在、NTKセラテック株式会社は日本特殊陶業株式会社の子会社として運営されています。